Author Affiliations +
J. Bogdanowicz,1 Y. Oniki,1 K. Kenis,1 Y. Muraki,2 T. Nuytten,1 S. Sergeant,1 A. Franquet,1 V. Spampinato,1 T. Conard,1 I. Hoflijk,1 J. Meersschaut,1 N. Claessens,1,3 A. Moussa,1 D. Van Den Heuvel,1 J. Hung,4 R. Koret,4 A.-L. Charley,1 P. Leray1
1imec (Belgium)
2TEL Technology Solutions Ltd. (Japan)
3KULueven (Belgium)
4NOVA Measuring Instruments Ltd. (Israel)